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洁净室检测常用仪器仪表的介绍
2020-04-20 浏览次数：437
一般计量仪表的精确度是分级的，对于1级仪表，其误差限是最大量程的1%。例如：对于最大量程为100℃的温度计，其绝对误差为±1℃；对于最大量程为30℃的温度计，其绝对误差为±0.3℃。如果被测量的温度是20℃，使用最大量程为100℃的1级温度计，测得值的相对误差为±5%；使用最大量程为30℃的1级温度计，测得值的相对误差为±1.5%。由此可见，使用精确度等级相同的仪表，由于最大量程不同，其测得值的相对误差的差别很大。因为同等精确度下最大量程越大绝对误差越大，所以在可能的条件下应尽量选用量程较小的仪表。
1、温度计
温度计有多种，其中玻璃温度计的可靠性较好。如果洁净室内使用其他类型的温度计，应该另外准备一个精确度较高的玻璃温度计，作为校准其他温度计的比对性标准器。
（1）玻璃温度计。玻璃温度计是根据液体热胀冷缩原理制造的。常用的液体是酒精或水印。这种温度计虽然准确可靠，但反应较慢，读数不直观，不适合用于自动控制。玻璃温度计读数时应注意不能用手直接接触液体球的外壁，读数时眼睛应该平视。
（2）数字温度计。数字温度计的原理有多种，优点是读数直观，适合于自动控制，但有时可靠性较差。
2、湿度计
（1）干湿球湿度计。液体挥发会吸收热量，致使温度下降；湿度越低，液体挥发得越快，温度下降得越多。根据这个原理制造出干湿球湿度计。干湿球湿度计具有结构简单、价格低廉的优点，但读数比较麻烦，不适合用于自动控制。
（2）毛发湿度计。毛发湿度计是根据脱脂毛发随湿度变化而变化的原理制造出来的。指针式的毛发湿度计结构简单、价格低廉，但不适合用于自动控制。
（3）露点湿度计。露点湿度计的原理是首先测定露点温度，根据露点温度对应的饱和水蒸气分压力与干球温度对应的饱和水蒸气分压力计算相对湿度。通过直接观察确定是否结露的准确度较差，根据镜面反射光的强度确定是否结露的准确度较高。所以有直观的露点湿度计，还有光电式露点湿度计。使用温度传感器测定露点温度的光电式露点湿度计不仅精确度高，而且可以实现数字显示。
（4）电容湿度计。电容湿度计的原理是：高分子薄膜吸收或释放水分子的时候电容值发生变化，测定高分子薄膜的电容值可以确定空气的湿度。常用的高分子材料是丁酸纤维素。电容湿度计可以用数字显示湿度，便于监测和控制。
（5）电阻湿度计。电阻湿度计的原理是：金属氧化物烧结而成的多孔状陶瓷体或高分子材料吸收或释放水分子的时候电阻值发生变化，测定该多孔状陶瓷体或高分子材料的电阻值就可以确定空气的湿度。用氧化镍陶瓷制造的湿度传感器寿命长、稳定性好，应用较广泛。电阻湿度计也可以用数字显示湿度，便于监测和控制。
3、气压计
（1）U形气压计。加入液体后，一头与大气连通，另一头与被测的气体连通，利用两个玻璃管中的液面差测量气压差。结合已知的大气压数值，可得到被测的气压值。U形气压计中常用的液体是纯水、水银、乙醇等。同样长度的U形气压计，液体的密度越大，量程越大，精确度越低；液体的密度越小，量程越小，精确度越高。所以，应该根据量程和精确度选用适当的液体。
（2）斜管微压计。可以理解为U形气压计的变形。一般情况下，U形气压计的玻璃管垂直读数，斜管微压计的玻璃管倾斜读数。玻璃管倾斜后，同样的压差在玻璃管中显示的距离较大，读数的精确度较高。所以与U形气压计比较，斜管微压计的读数精确度要高一些。
（3）精密微压计。此仪器结构比较复杂，虽然也是用纯水显示压力，然而采用放大镜瞄准、螺纹微调、游标读数，可以达到更高的精确度。
（4）弹性气压计。此仪器是利用物体弹性制造的气压计。弹性气压计种类繁多，应用范围广泛。
（5）压差计。压差计与压力计经常是可以通用的。有时可以测出压力计算出压差，有时又可以测出压差计计算出压力。U形气压计就是一种典型的通过测压差计算压力的仪器。
（6）电子压力计。此仪表一器般是通过压力传感器、电子线路和显示器直接用数字显示压力的数值。
4、风速计
（1）热效应风速计。热效应风速计分热线风速计和热球风速计两种。这两种风速计的原理和和结构相似，其特点是灵敏度较高、稳定性较差。
（2）旋翼式风速计。旋翼式风速计有一定的摩擦阻力。以前摩擦阻力较大、灵敏度较低，随着技术的进步，阻力减小，灵敏度提高，应用范围越来越大。
（3）气压风速计。气压风速计的原理是根据气体的动压确定风速。一般使用皮托管和微压计测定气流的静压和全压，用全压减去静压得到动压。这种测定方法的可靠性较高，但是比较麻烦，而且要求压力计的灵敏度较高。
5、风量计
（1）罩式风量计。可以使用风速计测量风向垂直截面上各点的风速，取平均值乘以截面积得到风量。根据这个原理，将多个风速计组合在一起制造出罩式风量计，可以直接测定风量。
（2）浮子流量计。浮子流量计也称为转子流量计，是一种常用的气体流量计。一般情况下，浮子流量计用于测量中等流量的气流，如10～500L/min。
（3）皂膜流量计。皂膜流量计也是一种常用的流量计。一般多用于测量小流量的气流。
6、声级计
声级计是根据声音振动的能量确定噪声的声级，其显示方式有指针式和数字式两种，新制造的多是数字式。
7、照度计
照度计根据照射到的光的能量确定照射光的强度，一般用数字显示照度值。
