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洁净室的检测--被测“量”的均匀性

2020-03-23 浏览次数:403   

1、均匀性的概念
均匀性是体现不同部位量值不相同程度的量,对于洁净室有风速均匀性、气压均匀性、温度均匀性、洁净度均匀性等。
2、均匀性的测定方法
使用高精确度的测量仪器,均布测量点,测得一系列数值。测量次数尽可能多一点。
3、均匀性的表示
一般用均匀性的标准偏差定量的表示均匀性。均匀性的标准偏差()按下式计算:

式中,n为测量次数
   xi为第i次的测得值,i=1,2,3,,n
  为测得值的算术平均值,
(1)算术平均值的标准偏差()。算术平均值的标准偏差按下式计算:

(2)均匀性的置信度。如果均匀性的测得值是正态分布,则有68%的测得值与测量次数无穷大时的平均值的偏差不超过;同时,有68%的n次测得值的平均值与测量次数无穷大时的平均值的偏差不超过
(3)扩展均匀性。如果均匀性的测得值是正态分布,则有95%的测得值与测量次数无穷大时的平均值的偏差不超过;同时,有95%的n次测得值的平均值与测量次数无穷大时的平均值的偏差不超过
如果均匀性的测得值是正态分布,则有99%的测得值与测量次数无穷大时的平均值的偏差不超过;同时,有99%的n次测得值的平均值与测量次数无穷大时的平均值的偏差不超过
4、均匀性与重复性的关系
测量均匀性时,重复性也包含在其中。所以,测量均匀性的时候,希望重复性的量值可以忽略不计。如果测量均匀性时,重复性不能忽略不计,就必须减去重复性。一般情况如果测得量的标准偏差为η,均匀性的标准偏差()按下式计算: