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洁净室的检测--被测“量”的稳定性
2020-03-17 浏览次数：442
1、稳定性的概念
被测的“量”是由物质构成的，物质是发展变化的，所以随着时间和环境的变化，被测的“量值”会发生变化。“稳定性”体现的是被测的“量”在短时间之内的变化。
洁净室的技术指标多数是计量学上的量，有的是基本量，有的是导出量，有的是复合量。在测定某一个技术指标之前，应该了解技术指标的稳定性。如果技术指标的稳定性不影响测量结果的精确度，可以直接进行测定。如果技术指标的稳定性影响测量结果的精确度，则需要考虑稳定性对测量结果的影响。
2、稳定性的测定方法
使用高精确度的测定方法，在规定的时间之内，对被测量进行等时间间隔的重复测量，获得一系列测得值。测量次数尽可能多一点。
3、稳定性的表示方法
一般用稳定性的标准偏差定量的表示稳定性。稳定性的标准偏差（α）按下式计算：
式中，n为测量次数
xi 为第i次的测得值，i=1，2，3，…，n
为测得值的算术平均值，
（1）算术平均值的标准偏差
算术平均值的标准偏差按下式计算：
（2）稳定性的置信度
如果稳定性的测得值是正态分布，则有68%的测得值与测量次数无穷大时的平均值的偏差不超过
；同时，有68%的n次测得值的平均值与测量次数无穷大时的平均值的偏差不超过
。
（3）扩展稳定性
如果稳定性的测得值是正态分布，则有95%的测得值与测量次数无穷大时的平均值的偏差不超过
；同时，有95%的n次测得值的平均值与测量次数无穷大时的平均值的偏差不超过
。
如果稳定性的测得值是正态分布，则有99%的测得值与测量次数无穷大时的平均值的偏差不超过
；同时，有99%的n次测得值的平均值与测量次数无穷大时的平均值的偏差不超过
。
其中，68%，95%和99%为置信度，2和3为包含因子；置信度为68%的包含因子为1。
