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洁净室存在的污染源及控制措施

2020-02-08 浏览次数:442   

一、污染源
1、人员
尽管已有许多生产工艺日益提高机械化、自动化程度,尽量减少人员直接进入生产区,以降低由于人员参与带入的污染。但截至目前,列为多数洁净室污染来源首位的仍然是人。虽然为防止进入洁净室人员散发过量的污染物以致危害生产环境而采取了许多措施,但即便如此,仍然存在人体表面上的污染物穿透洁净服,以及人员呼吸所产生的污染物,扩散到洁净室空气中污染环境和产品。
2、毗邻洁净室的污染区域
与洁净室周边毗邻或相通的,较低洁净度的区域或非洁净区,由于人员、物料的进出携带的污染空气,或沉降在人员、物料上的污染物被带入,是影响室内洁净度的另一个重要污染来源。
合理的正压差是减少通过围护结构的缝隙和传递窗、门、传送带开口等孔洞侵入污染空气的重要措施。设在门口的气闸室、缓冲室以及空气吹淋室也有一定作用。但完全避免周边污染区域对洁净室环境的干扰与影响也是困难的,特别是洁净室在外门的附近区域。因此,工艺关键区域宜远离外门。
3、未经过滤的送风
在正常情况下,新建、改建洁净室或是末级过滤器更换后,按规范进行了严格的验收检测。那么高效过滤器本身、高效过滤器与支撑框架的接触面如有泄漏,都应被查出并予以处理。此时,送风系统就不存在未经过滤而进入洁净室的空气。值得防范和注意的是,在生产过程中未按操作规章不慎触及脆弱的高效过滤器滤芯,或是高效过滤器支撑框架因振动、或是密封胶垫老化、变质致使高效过滤器与框架接触面的密封垫或胶条出现裂隙,从而泄漏未经过滤的空气污染洁净室,也是日常监测工作关注的重点。
4、围护结构及其它表面
洁净室表面存在由于人员的触摸被污染,或因生产过程中被污染空气所携带尘粒的沉降、附着作用而被污染。特别是在非工作班未设值班工况时,因洁净空调系统停止运行而对周围环境无正压功能,由于扩散效应侵入室内空气中的污染粒子将沉降、附着到各个表面上。当洁净室重新正常运行与工作时,未清洁这些表面,那么又将成为洁净室的又一个污染源。
5、处于工作状态的机器设备
多年来,为减少洁净室人员产生的污染以及提高工作效率和精度的双重考虑,某些洁净室采用了更多的机器设备、机械手及其它自动化装置。实践过程中发现,这样固然减少了人员的污染因素,从一定程度上改善了洁净室的状况。但运转中的机器设备由于润滑剂、机械磨损以及电器自控装置运行中产生的尘粒污染,又成为了受关注的问题。一些西方工业国家对洁净室常见的不同运转方式、不同速率、不同材质的机械设备的典型动作和某些电器的产尘进行了相应的实践研究。对洁净室的机械、电器污染源给出了一些尘埃散发量的可参照数值,为洁净室通风设计提供了计算依据。
6、原材料、容器、包装等
对进入洁净室的设备、材料以及容器、包装等的预清洁、拆包地点和方法,以及进入洁净室的程序等,在洁净室运行管理的相关规范中都有明确说明。但仍然完全杜绝粘附在原材料、容器、包装,特别是一些难于彻底清洁的产品的细小组件上的污染物被带入洁净室。它们构成了生产过程中的又一个重要污染源,而在这一点上往往容易被忽略。出现问题时,通常把注意力放在寻找空调净化系统的缺陷上。其实不少洁净室产品部件带入的微粒是生产出现问题的重要原因。
二、污染风险分析和控制措施图
当掌握和分析了洁净室的污染源、污染传播途径,就可以形象的勾画出即将投入运行的洁净室的污染风险和控制措施图。当工艺流程复杂,同时要控制诸如尘埃粒子、微生物粒子、分子污染物等多种污染物时,可能需要勾画出多个污染风险分析与污染控制图。
污染在洁净室的传播是十分复杂的。从理论上讲,洁净室内的每个物品都可能被室内的其它物品污染,这样使问题更加复杂化。然而,实际上只要考虑主要污染源即可。特别应关注空气的核心作用,是它容纳洁净室的各类污染物并到处传播。
下图是一个典型洁净室内颗粒污染物的污染源、传播途径及控制措施的示意图:

下图给出了工艺过程及设备污染源、传播途径及其控制方法的示意图: