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洁净工作台的性能应符合哪些规定？
2021-09-16 浏览次数：228
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参数名称 |
技术要求 |
单位 |
性能参数 |
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扫描检漏 |
大气尘或人工尘 |
粒/L |
≤3 |
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DOP法检漏，穿透率 |
% |
≤0.01 |
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引射作用 |
大气尘或人工尘，下游离子浓度（≥0.5um） |
粒/L |
≤10 |
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DOP法检漏，穿透率 |
% |
≤0.01 |
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平均风速 |
单向流洁净工作台操作区平均风速 |
m/s |
0.2～0.5 |
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不均匀度 |
风速的相对标准偏差 |
% |
≤20 |
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进风风速 |
进风口设在洁净工作台操作人员腿部的进风口平均风速 |
m/s |
≤1 |
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风量 |
非单向流洁净工作台的换气次数 |
h-1 |
60～120 |
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非单向流洁净工作台额定风量的波动范围 |
% |
±20 |
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空气洁净度 |
操作区的洁净度级别 |
级 |
洁净度5级（HEPA）
优于洁净度5级（ULPA） |
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沉降菌浓度 |
操作区台面平均菌落数（只对用于生物洁净用途的工作台有此要求） |
cfu/（皿.0.5h） |
≤0.5 |
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噪声 |
前壁板水平中心向外300mm，且高于地面1.1m处的整机噪声 |
dB |
≤65 |
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照度 |
操作区台面上的平均照度（无背景照明） |
lx |
≥300 |
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振动幅度 |
操作区台面几何中心的垂直净振幅 |
um |
≤5 |
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气流状态 |
操作空间垂直气流试验（垂直单向流洁净工作台） |
— |
气流流线应垂直于台面或出风面，不得有死角和回流 |
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操作空间水平气流试验（水平单向流洁净工作台） |
— |
气流流线应平行于台面或出风面，不得有死角和回流 |
