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洁净室特定要求的检测

2020-05-08 浏览次数:31

1、机械振动的检测
1)机械振动的来源。机械振动的来源主要有以下几个方面:大地固有的振动;洁净室运行用设备的振动;生产用设备的振动;交通工具的振动;建筑设备的振动;水流引起的振动;气流引起的振动等。
2)振动的危害。其影响精密仪器的准确度和精密加工的精确度。
3)振动的测量。振动主要有两个技术参数:振动频率和振幅。采用减振措施以后,振动量可以减小。用振动仪可以直接测量振动的强度。
2、静电的检测
1)静电检测的需求。静电有可能损坏电子设备、仪器仪表、甚至伤害人体,引发爆炸或燃烧。静电对于集成电路的影响较大,所以电子行业对于静电检测的要求较高。《洁净厂房设计规范》和《电子工业洁净厂房设计规范》两个强制性的国家标准都是中国电子工程设计院负责起草的,基本上代表了电子行业的观点。标准中对于静电有比较具体的要求。GB 50472-2008将静电分为三个等级,相应的静电点位绝对值为:一级≤100V;二级≤200V;三级≤1000V
2)静电的主要检测参数:包括电压、电阻、电场、离子等。
3)检测方法。静电检测可参照GB 50591-2010和电子行业标准《电子产品和制造防静电系统测试方法》(SJ/T10694)进行。
3、电磁场的检测
1)电磁场的来源。有交变电流就会有电磁场。高频电流会产生电磁波。
2)电磁场的危害。一般的电磁场会影响仪器仪表和自动控制系统。强电磁场对人体有害。
3)电磁场的测量。电磁场主要有两个技术指标,即频率和强度,可以用场强仪进行检测。
4、射线的检测
1)常见的射线。常见的射线有电磁波、紫外线、X射线、γ射线、α射线、β射线等。
2)射线的来源。交换变化的电磁场会产生电磁波,高频的电磁波呈现射线特性,可以称为电磁射线。紫外线多来源于紫外光源和太阳光。X射线多来源于被高能电子激发的物质。α射线、β射线多来源于具有放射性的重元素。
3)检测方法。射线一般可以用相应的射线计数器检测,射线计数器一般都是直读仪器,使用比较方便。需要注意射线对人体危害较大,检测人员需要注意自我保护。一般需要戴防护眼镜、穿防护服等。
5、有害气体的检测
(1)有害气体的来源。洁净室有害气体的来源主要有:通风带进的有害气体;室内装饰材料散发的有害气体;室内设备散发的有害气体;工作过程产生的有害气体;人员散发的有害气体。
2)有害气体的种类。不同的来源有不同的有害气体,不同的对象有不同的有害气体。有的气体对人体有害,有的气体对仪器设备有害,有的气体对产品有害。
3)有害气体的检测方法。
1)用直读仪器直接读出有害气体的浓度。直读仪器主要由两部分组成:化学传感器和电子放大显示系统。此方法的特点是快递、方便,缺点是往往精确度较低、仪器的使用寿命较短。
2)采样后带回实验室,使用光谱仪、色谱仪等分析确定有害气体的浓度。此方法的特点是精确度较高、可靠性较强,缺点是测定程序较复杂、需要的时间较长。