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光散射离散粒子计数器的工作原理及应用简介

2020-01-31 浏览次数:725

光散射离散粒子计数器是测定空气中悬浮颗粒物的常用仪器。其工作原理是:利用空气中悬浮微粒对光线的散射作用,将采样空气中的悬浮微粒的散射光脉冲信号,转换为相应的电脉冲信号。根据不同散射光强转换所得的、强弱不同的电脉冲信号来区分微粒的粒径大小,根据电脉冲信号的多少确定微粒数量。
光散射离散粒子计数器所给出的被测微粒的粒径尺寸,是将外形不同的被测微粒通过白炽光或激光光束所产生的散射光强与球形粒子的散射光强做对比,以与其散射光强相同的球形粒子的直径,定作为被测微粒的粒径,该直径通常称之为等效光学直径。
光散射离散粒子计数器是目前洁净度检测最常用、最重要的仪器。就光源而言可分为白炽光源与激光光源两种,由于激光二极管和氦-氖激光光源较白炽光源的光强高出百倍以上,其检测的灵敏度、精度较过去普遍使用的白炽光源的离散粒子计数器大幅提高,而激光光源的成本又日益降低,耐用性逐年提高。因此,激光光源的离散粒子计数器已成为国际、国内的主导产品。
激光粒子计数器构造原理图:



激光粒子计数器光学系统示意图:


根据检测的精度要求不同,检测的任务不同,光散射离散粒子计数器相应有各种不同种类的产品,按检测任务来分主要分为现场测试与监测两大类产品。
ISO 14644-3“测试与测试方法”标准中,对光散射离散粒子计数器提出的测量技术要求及附加技术要求,如下表:
对光散射离散粒子计数器的测量技术要求:


对光散射离散粒子计数器的附加技术要求: